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The Study On Three-Channel Laser Interferometer For Real-Time Correction of Abbe Error
用于阿贝误差实时修正的三通道激光干涉仪的研究
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叙述了三维扫描系统的硬件实现，分析了二维水平扫描系统的扫描精度和垂直压电陶瓷微位移系统的结构和精度。
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测头不仅可以安装在三坐标测量机上，也可以结合其它的测长仪如双频激光干涉仪进行表面形状测量。
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